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KCI
Cl₂/Ar 혼합가스를 이용한 VO₂ 박막의 유도결합 플라즈마 식각
정희성; 김성일;
권광호
Article
Issue Date
2008
Citation
전기전자재료학회논문지, v.21, no.8, pp 727 - 732
Publisher
한국전기전자재료학회
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