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SCIE
SCOPUS
Robust Design and Performance Verification of an In-Plane XY theta Micropositioning Stage
Hwang, Donghyun; Byun, Jungwoong;
Jeong, Jaehwa
; Lee, Moon G.
Article
Issue Date
2011
Citation
IEEE TRANSACTIONS ON NANOTECHNOLOGY, v.10, no.6, pp.1412 - 1423
Publisher
IEEE-INST ELECTRICAL ELECTRONICS ENGINEERS INC
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