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유해가스 차단시스템용 MEMS 가스 센서
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| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | 이의복 | - |
| dc.contributor.author | 박영욱 | - |
| dc.contributor.author | 황인성 | - |
| dc.contributor.author | 김선중 | - |
| dc.contributor.author | 이종흔 | - |
| dc.contributor.author | 주병권 | - |
| dc.contributor.author | 차정호 | - |
| dc.contributor.author | 이호준 | - |
| dc.date.accessioned | 2021-09-08T23:06:35Z | - |
| dc.date.available | 2021-09-08T23:06:35Z | - |
| dc.date.created | 2021-06-17 | - |
| dc.date.issued | 2009 | - |
| dc.identifier.issn | 1226-7244 | - |
| dc.identifier.uri | https://scholar.korea.ac.kr/handle/2021.sw.korea/121466 | - |
| dc.description.abstract | 본 연구에서는 졸겔법으로 ZnO, 수열합성법으로 SnO2 나노분말을 제조하고 이들 나노분말에 Pd, Ru 등의 촉매를 첨가하였다. MEMS 기술로 제작된 히터 및 전극 구조 위에 나노 감지 분말을 도포하여 CO and NO2 가스 센서를 제작하였다. 0.1 wt% Pd 도핑된 SnO2 가스센서와 Ru 도핑된 ZnO 가스 센서는 각각 CO 30 ppm, NO2 1 ppm의 낮은 농도에서도 높은 감지 특성을 보였다. | - |
| dc.language | Korean | - |
| dc.language.iso | ko | - |
| dc.publisher | 한국전기전자학회 | - |
| dc.title | 유해가스 차단시스템용 MEMS 가스 센서 | - |
| dc.title.alternative | MEMS based on nanoparticle gas sensor for air quality system | - |
| dc.type | Article | - |
| dc.contributor.affiliatedAuthor | 이종흔 | - |
| dc.identifier.bibliographicCitation | 전기전자학회논문지, v.13, no.4, pp.37 - 42 | - |
| dc.relation.isPartOf | 전기전자학회논문지 | - |
| dc.citation.title | 전기전자학회논문지 | - |
| dc.citation.volume | 13 | - |
| dc.citation.number | 4 | - |
| dc.citation.startPage | 37 | - |
| dc.citation.endPage | 42 | - |
| dc.type.rims | ART | - |
| dc.identifier.kciid | ART001409778 | - |
| dc.description.journalClass | 2 | - |
| dc.description.journalRegisteredClass | kci | - |
| dc.subject.keywordAuthor | MEMS | - |
| dc.subject.keywordAuthor | ZnO | - |
| dc.subject.keywordAuthor | SnO2 | - |
| dc.subject.keywordAuthor | CO | - |
| dc.subject.keywordAuthor | NOx | - |
| dc.subject.keywordAuthor | MEMS | - |
| dc.subject.keywordAuthor | ZnO | - |
| dc.subject.keywordAuthor | SnO2 | - |
| dc.subject.keywordAuthor | CO | - |
| dc.subject.keywordAuthor | NOx | - |
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