Co/Ni 다층박막의 수직자기이방성 발현에 대한 하지층의 영향

Abstract

본 연구에서는 하지층의 종류와 두께에 따라 [Co(2Å)/Ni(8Å)]×N 다층박막의 자기이방성 특성이 어떻게 변화하는지를 조사하였다. 기판과 Co/Ni 다층박막 사이에 [111] 결정성을 갖는 하지층을 삽입함으로써 막평면과 수직한 방향 (out of plane)으로의 자화 용이축(easy-axis)을 갖는 다층박막을 얻을 수 있었다. 하지층으로 Au를 사용한 경우 그 두께를 50 Å에서 500 Å 증가시킬수록 다층박막의 보자력(coercivity: Hc)이 99 Oe에서 430 Oe까지 증가하였다. 이는 하지층으로 쓰인 Au 박막의 두께가 증가할수록 Co/Ni 다층박막의 [111] 결정성이 개선되기 때문이다.