반도체 장비의 출하검사 데이터와 고장이력 데이터를 활용한 장비의 고장여부 및 최초 고장시점 예측반도체 장비의 출하검사 데이터와 고장이력 데이터를 활용한 장비의 고장여부 및 최초 고장시점 예측
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