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K-S검정(Kolmogorov-Smirnov test)을 응용한 반도체 제조 시스템에서의 불량 원인 분석 방법론
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| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | Jun-Geol Baek | - |
| dc.date.accessioned | 2021-08-28T03:31:20Z | - |
| dc.date.available | 2021-08-28T03:31:20Z | - |
| dc.date.created | 2021-04-22 | - |
| dc.date.issued | 2017-11-04 | - |
| dc.identifier.uri | https://scholar.korea.ac.kr/handle/2021.sw.korea/21429 | - |
| dc.publisher | 대한산업공학회 | - |
| dc.title | K-S검정(Kolmogorov-Smirnov test)을 응용한 반도체 제조 시스템에서의 불량 원인 분석 방법론 | - |
| dc.title.alternative | K-S검정(Kolmogorov-Smirnov test)을 응용한 반도체 제조 시스템에서의 불량 원인 분석 방법론 | - |
| dc.type | Conference | - |
| dc.contributor.affiliatedAuthor | Jun-Geol Baek | - |
| dc.identifier.bibliographicCitation | 2017 대한산업공학회 추계학술대회 | - |
| dc.relation.isPartOf | 2017 대한산업공학회 추계학술대회 | - |
| dc.relation.isPartOf | 2017 대한산업공학회 추계학술대회 | - |
| dc.citation.title | 2017 대한산업공학회 추계학술대회 | - |
| dc.citation.conferencePlace | KO | - |
| dc.citation.conferencePlace | KAIST (대전) | - |
| dc.citation.conferenceDate | 2017-11-04 | - |
| dc.type.rims | CONF | - |
| dc.description.journalClass | 2 | - |
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