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사파이어 기판의 플라즈마 전처리가 AlN 버퍼층을 사용한 GaN template에 미치는 영향사파이어 기판의 플라즈마 전처리가 AlN 버퍼층을 사용한 GaN template에 미치는 영향
- Alternative Title
- 사파이어 기판의 플라즈마 전처리가 AlN 버퍼층을 사용한 GaN template에 미치는 영향
- Authors
- BYUN, Dong Jin
- Issue Date
- 18-5월-2017
- Publisher
- 한국재료학회
- Citation
- 2017년도 한국재료학회 춘계학술대회
- Conference Name
- 2017년도 한국재료학회 춘계학술대회
- Place
- KO
- Conference Date
- 2017-05-17
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- There are no files associated with this item.
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