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플라즈마 증착법으로 증착한 나이트라이드 막의 내부 결합 밀도 비에 따른 수소 패시베이션 효과 비교
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| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | Kang Yoon Mook | - |
| dc.date.accessioned | 2021-08-28T11:32:49Z | - |
| dc.date.available | 2021-08-28T11:32:49Z | - |
| dc.date.created | 2021-04-22 | - |
| dc.date.issued | 2016-11-17 | - |
| dc.identifier.uri | https://scholar.korea.ac.kr/handle/2021.sw.korea/26163 | - |
| dc.publisher | 한국재료학회 | - |
| dc.title | 플라즈마 증착법으로 증착한 나이트라이드 막의 내부 결합 밀도 비에 따른 수소 패시베이션 효과 비교 | - |
| dc.title.alternative | 플라즈마 증착법으로 증착한 나이트라이드 막의 내부 결합 밀도 비에 따른 수소 패시베이션 효과 비교 | - |
| dc.type | Conference | - |
| dc.contributor.affiliatedAuthor | Kang Yoon Mook | - |
| dc.identifier.bibliographicCitation | 한국재료학회 추계학술대회 | - |
| dc.relation.isPartOf | 한국재료학회 추계학술대회 | - |
| dc.relation.isPartOf | 한국재료학회 추계학술대회 | - |
| dc.citation.title | 한국재료학회 추계학술대회 | - |
| dc.citation.conferencePlace | KO | - |
| dc.citation.conferenceDate | 2016-11-15 | - |
| dc.type.rims | CONF | - |
| dc.description.journalClass | 2 | - |
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