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금속 Zn 타겟을 사용한 RF 마그네트론 리엑티브 스퍼터링 ZnO의 온도 및 산소분압에 따른 전기적 특성의 변화
- Authors
- BYUN, Dong Jin
- Issue Date
- 21-5월-2009
- Publisher
- 한국재료학회
- Citation
- 2009년도 한국재료학회 춘계학술발표대회 및 제16회 신소재 심포지엄
- Conference Name
- 2009년도 한국재료학회 춘계학술발표대회 및 제16회 신소재 심포지엄
- Place
- KO
- Conference Date
- 2009-05-21
- Files in This Item
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