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반도체 제조 공정의 다변량 시계열 데이터 특질 추출 반도체 제조 공정의 다변량 시계열 데이터 특질 추출 및 이상 예측
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| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | Jun-Geol Baek | - |
| dc.date.accessioned | 2021-08-29T05:26:16Z | - |
| dc.date.available | 2021-08-29T05:26:16Z | - |
| dc.date.created | 2021-04-22 | - |
| dc.date.issued | 2014-11-22 | - |
| dc.identifier.uri | https://scholar.korea.ac.kr/handle/2021.sw.korea/36837 | - |
| dc.publisher | 대한산업공학회 | - |
| dc.title | 반도체 제조 공정의 다변량 시계열 데이터 특질 추출 반도체 제조 공정의 다변량 시계열 데이터 특질 추출 및 이상 예측 | - |
| dc.title.alternative | 반도체 제조 공정의 다변량 시계열 데이터 특질 추출 및 이상 예측 | - |
| dc.type | Conference | - |
| dc.contributor.affiliatedAuthor | Jun-Geol Baek | - |
| dc.identifier.bibliographicCitation | 대한산업공학회 2014 추계학술대회 | - |
| dc.relation.isPartOf | 대한산업공학회 2014 추계학술대회 | - |
| dc.relation.isPartOf | 대한산업공학회 2014 추계학술대회 논문집 | - |
| dc.citation.title | 대한산업공학회 2014 추계학술대회 | - |
| dc.citation.conferencePlace | KO | - |
| dc.citation.conferencePlace | 경기대학교 수원캠퍼스 | - |
| dc.citation.conferenceDate | 2014-11-21 | - |
| dc.type.rims | CONF | - |
| dc.description.journalClass | 2 | - |
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