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마이크로 시스템의 3차원 형상 측정을 위한 진동 프로브 개발
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| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | Jaehwa Jeong | - |
| dc.date.accessioned | 2021-08-29T11:37:20Z | - |
| dc.date.available | 2021-08-29T11:37:20Z | - |
| dc.date.created | 2021-04-22 | - |
| dc.date.issued | 2014-05-15 | - |
| dc.identifier.uri | https://scholar.korea.ac.kr/handle/2021.sw.korea/40579 | - |
| dc.publisher | 한국정밀공학회 | - |
| dc.title | 마이크로 시스템의 3차원 형상 측정을 위한 진동 프로브 개발 | - |
| dc.title.alternative | 마이크로 시스템의 3차원 형상 측정을 위한 진동 프로브 개발 | - |
| dc.type | Conference | - |
| dc.contributor.affiliatedAuthor | Jaehwa Jeong | - |
| dc.identifier.bibliographicCitation | 한국정밀공학회 2014년도 춘계학술대회 | - |
| dc.relation.isPartOf | 한국정밀공학회 2014년도 춘계학술대회 | - |
| dc.relation.isPartOf | 한국정밀공학회 2014년도 춘계학술대회논문집 | - |
| dc.citation.title | 한국정밀공학회 2014년도 춘계학술대회 | - |
| dc.citation.conferencePlace | KO | - |
| dc.citation.conferenceDate | 2014-05-14 | - |
| dc.type.rims | CONF | - |
| dc.description.journalClass | 2 | - |
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