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College of Engineering
School of Industrial and Management Engineering
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SCIE
SCOPUS
KCI
A Clustering-Based Equipment Condition Model of Chemical Vapor Deposition Process
Yoo, Youngji; Park, Seung Hwan;
Baek, Jun-Geol
Article
Issue Date
2019
Citation
INTERNATIONAL JOURNAL OF PRECISION ENGINEERING AND MANUFACTURING, v.20, no.10, pp.1677 - 1689
Publisher
KOREAN SOC PRECISION ENG
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Discover
키워드
Chemical vapor deposition (CVD) p...
1
Clustering
1
CONDITION-BASED MAINTENANCE
1
DIAGNOSIS
1
Health condition monitoring
1
PROGNOSIS
1
Semiconductor manufacturing process
1
발행년도
2019
1
언어
English
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저널
International Journal of Precisio...
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