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College of Engineering
School of Industrial and Management Engineering
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SCIE
SCOPUS
A Hierarchical Spatial-Test Attention Network for Explainable Multiple Wafer Bin Maps Classification
Do, Hyungrok; Lee, Changhyun;
Kim, Seoung Bum
Article
Issue Date
2022
Citation
IEEE TRANSACTIONS ON SEMICONDUCTOR MANUFACTURING, v.35, no.1, pp.78 - 86
Publisher
IEEE-INST ELECTRICAL ELECTRONICS ENGINEERS INC
1
Discover
저자/발명자/참여자
Lee, Changhyun
1
키워드
AUTOMATIC IDENTIFICATION
1
Context modeling
1
Convolutional neural networks
1
deep learning
1
DEFECT PATTERNS
1
explainable neural network
1
Feature extraction
1
Manufacturing
1
Multiple wafer bin maps classific...
1
REGRESSION NETWORK
1
.
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발행년도
2022
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저널
IEEE Transactions on Semiconducto...
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