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College of Engineering
School of Industrial and Management Engineering
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SCIE
SCOPUS
Evaluating the reliability level of virtual metrology results for flexible process control: a novelty detection-based approach
Kang, Pilsung
; Kim, Dongil; Cho, Sungzoon
Article
Issue Date
2014
Citation
PATTERN ANALYSIS AND APPLICATIONS, v.17, no.4, pp.863 - 881
Publisher
SPRINGER
SCIE
SCOPUS
Semi-supervised support vector regression based on self-training with label uncertainty: An application to virtual metrology in semiconductor manufacturing
Kang, Pilsung
; Kim, Dongil; Cho, Sungzoon
Article
Issue Date
2016
Citation
EXPERT SYSTEMS WITH APPLICATIONS, v.51, pp.85 - 106
Publisher
PERGAMON-ELSEVIER SCIENCE LTD
1
Discover
키워드
Virtual metrology
2
ALGORITHM
1
Data generation
1
Novelty detection
1
ONE-CLASS CLASSIFIER
1
OUTLIERS
1
OVERLAY
1
Probabilistic local reconstruction
1
Process monitoring
1
RECONSTRUCTION
1
.
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발행년도
2016
1
2014
1
언어
English
2
저널
Expert Systems with Applications
1
Pattern Analysis and Applications
1
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scopus
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