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College of Engineering
School of Industrial and Management Engineering
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SCIE
SCOPUS
KCI
Pattern Classification for Small-Sized Defects Using Multi-Head CNN in Semiconductor Manufacturing
Byun, Yunseon;
Baek, Jun-Geol
Article
Issue Date
2021
Citation
INTERNATIONAL JOURNAL OF PRECISION ENGINEERING AND MANUFACTURING, v.22, no.10, pp.1681 - 1691
Publisher
KOREAN SOC PRECISION ENG
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