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College of Engineering
School of Industrial and Management Engineering
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SCIE
SCOPUS
STRUCTURED REGULARIZATION MODELING FOR VIRTUAL METROLOGY IN SEMICONDUCTOR MANUFACTURING PROCESSES
Park, Chanhee; Park, Sung Ho;
Kim, Seoung Bum
Article
Issue Date
2019
Citation
INTERNATIONAL JOURNAL OF INDUSTRIAL ENGINEERING-THEORY APPLICATIONS AND PRACTICE, v.26, no.6, pp.835 - 849
Publisher
UNIV CINCINNATI INDUSTRIAL ENGINEERING
1
Discover
저자/발명자/참여자
Park, Sung Ho
1
KIM, Seoung Bum
1
키워드
DESIGN
1
feature selection
1
IDENTIFICATION
1
machine learning
1
process control
1
SHRINKAGE
1
sparse regularization
1
VARIABLE SELECTION
1
virtual metrology
1
발행년도
2019
1
저널
International Journal of Industri...
1
저널 등재 구분
scie
1
scopus
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