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Plasma를 통한 기판 전처리가 구리박막 성장에 미치는 영향
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| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | BYUN, Dong Jin | - |
| dc.date.accessioned | 2021-09-01T16:30:43Z | - |
| dc.date.available | 2021-09-01T16:30:43Z | - |
| dc.date.created | 2021-04-22 | - |
| dc.identifier.uri | https://scholar.korea.ac.kr/handle/2021.sw.korea/66166 | - |
| dc.publisher | 한국재료학회 | - |
| dc.title | Plasma를 통한 기판 전처리가 구리박막 성장에 미치는 영향 | - |
| dc.type | Conference | - |
| dc.contributor.affiliatedAuthor | BYUN, Dong Jin | - |
| dc.identifier.bibliographicCitation | 2009년도 한국재료학회 추계학술발표대회 및 제 17회 신소재 심포지엄 | - |
| dc.relation.isPartOf | 2009년도 한국재료학회 추계학술발표대회 및 제 17회 신소재 심포지엄 | - |
| dc.citation.title | 2009년도 한국재료학회 추계학술발표대회 및 제 17회 신소재 심포지엄 | - |
| dc.citation.conferencePlace | KO | - |
| dc.citation.conferenceDate | 2009-11-05 | - |
| dc.type.rims | CONF | - |
| dc.description.journalClass | 2 | - |
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