금속팁 FEA에서 습식 식각 공정이 게이트 절연체에 미치는 영향

제목
금속팁 FEA에서 습식 식각 공정이 게이트 절연체에 미치는 영향
저자
Ju, Byeongkwon
학회명
제1회 한국정보디스플레이 학술대회 논문집
학회 개최일
1997-06-26 ~ 1997-06-27