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TFT 채널층으로 사용하기 위한 IGZO박막의 산소분압에 따른 특성변화

  • Moon Byung-Moo
제목
TFT 채널층으로 사용하기 위한 IGZO박막의 산소분압에 따른 특성변화
저자
Moon Byung-Moo
학회명
제41회 한국진공학회 하계 정기 학술대회
개최국가
대한민국
학회 개최일
2011-08-17 ~ 2011-08-19

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