선형 질소 이온 주입농도에 따른 사파이어 기판상 MOCVD를 이용한 GaN 수평성장

제목
선형 질소 이온 주입농도에 따른 사파이어 기판상 MOCVD를 이용한 GaN 수평성장
저자
BYUN, Dong Jin
학회명
2009년도 한국재료학회 춘계학술발표대회 및 제 16회 신소재 심포지엄
개최국가
대한민국
학회 개최일
2009-05-21 ~ 2009-05-22