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GaAs/SiO2/Si 웨이퍼 제작을 위한 SiO2 박막 형성과 웨이퍼 직접 접합에 관한 연구

  • PARK, Jinwoo
제목
GaAs/SiO2/Si 웨이퍼 제작을 위한 SiO2 박막 형성과 웨이퍼 직접 접합에 관한 연구
저자
PARK, Jinwoo
학회명
한국광학회 05년도 동계학술발표회
개최지
서울
학회 개최일
2005-02-10 ~ 2005-02-10

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