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세리아 연마입자의 크기가 STI패턴의 단차와 Dishing에 미치는 영향

  • Lim, Dae-Soon
제목
세리아 연마입자의 크기가 STI패턴의 단차와 Dishing에 미치는 영향
저자
Lim, Dae-Soon
학회명
한국 세라믹학회 춘계학술대회
개최지
고려대학교
학회 개최일
2004-04-16 ~ 2004-04-17

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