Bottlebrush polymer as an electron beam resist

Bottlebrush polymer as an electron beam resist
제목
Bottlebrush polymer as an electron beam resist
제목 (타언어)
Bottlebrush polymer as an electron beam resist
저자
Seungwoo Lee
발행일
2023-08-21
학회명
2023 차세대 리소그래피 학술대회
개최국가
대한민국
학회 개최일
2023-08-21 ~ 2023-08-22