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Bottlebrush polymer as an electron beam resist
Bottlebrush polymer as an electron beam resist
- 제목
- Bottlebrush polymer as an electron beam resist
- 제목 (타언어)
- Bottlebrush polymer as an electron beam resist
- 저자
- Seungwoo Lee
- 발행일
- 2023-08-21
- 학회명
- 2023 차세대 리소그래피 학술대회
- 개최국가
- 대한민국
- 학회 개최일
- 2023-08-21 ~ 2023-08-22