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40% NH4F 용액에서 일어나는 Si(111)-H 표면 에칭반응에 미치는 용존 산소 영향

Chi-Woo Lee

제목: 40% NH4F 용액에서 일어나는 Si(111)-H 표면 에칭반응에 미치는 용존 산소 영향

저자: Chi-Woo Lee

학회명: 한국전기화학회 2005년도 춘계 학술발표회

개최지: 광주 전남대학교

학회 개최일: 2005-04-08 ~ 2005-04-09