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OES 센서 데이터를 이용한 반도체 설비 건강 진단 및 예측
OES 센서 데이터를 이용한 반도체 설비 건강 진단 및 예측
- 제목
- OES 센서 데이터를 이용한 반도체 설비 건강 진단 및 예측
- 제목 (타언어)
- OES 센서 데이터를 이용한 반도체 설비 건강 진단 및 예측
- 저자
- Jun-Geol Baek
- 발행일
- 2015-04-10
- 학회명
- 한국경영과학회/대한산업공학회 2015 춘계공동학술대회
- 개최지
- 라마다프라자 제주호텔
- 개최국가
- 대한민국
- 학회 개최일
- 2015-04-08 ~ 2015-04-11