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Magnetron RF-sputtering에 의해 증착 된 nc-Si 박막에 관한연구

  • MIN, Seok-Gi
제목
Magnetron RF-sputtering에 의해 증착 된 nc-Si 박막에 관한연구
저자
MIN, Seok-Gi
학회명
한국물리학회 회보
개최지
한국물리학회 회보
학회 개최일
2000-04-29

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