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Fault Detection of Cyclic Signals Using Principal Curve Analysis in Semiconductor Manufacturing Process
- 제목
- Fault Detection of Cyclic Signals Using Principal Curve Analysis in Semiconductor Manufacturing Process
- 저자
- Jun-Geol Baek
- 발행일
- 2012-06-30
- 학회명
- IIE Asian Conference 2012
- 개최지
- Singapore
- 개최국가
- 싱가포르
- 학회 개최일
- 2012-06-28 ~ 2012-06-30