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Plasma를 이용한 기판 전처리에 따른 TiO2 thin film의 orientation 특성 연구

제목
Plasma를 이용한 기판 전처리에 따른 TiO2 thin film의 orientation 특성 연구
저자
BYUN, Dong Jin
학회명
2002년도 한국재료학회 추계 학술발표강연
개최지
배재대학교
학회 개최일
2002-11-01 ~ 2002-11-02

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