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Tetramethylsilane을 이용한 SiC 박막의 성장

제목
Tetramethylsilane을 이용한 SiC 박막의 성장
저자
BYUN, Dong Jin
학회명
대한금속재료학회
학회 개최일
2002-01-01 ~ 2002-01-02

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