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SOI(Silicon-On-Insulator)-Micromachining 기술을 이용한 MEMS 소자의 제작

제목
SOI(Silicon-On-Insulator)-Micromachining 기술을 이용한 MEMS 소자의 제작
저자
Ju, Byeongkwon
학회명
전기전자재료학회 하계학술대회
학회 개최일
2001-07-12 ~ 2001-07-14

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