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Effect of the Neutral Beam Energy on Low Temperature Silicon Oxide Thin Film Grown by Neutral Beam Assisted Chemical Vapor Deposition
- 제목
- Effect of the Neutral Beam Energy on Low Temperature Silicon Oxide Thin Film Grown by Neutral Beam Assisted Chemical Vapor Deposition
- 저자
- Hong MunPyo
- 발행일
- 2012-08-22
- 학회명
- 제 43회 한국진공학회 하계정기학술대회
- 개최국가
- 대한민국
- 학회 개최일
- 2012-08-20 ~ 2012-08-22