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Modeling of an Inductively Coupled Cl2/Ar Plasma Using Neural Network
- 제목
- Modeling of an Inductively Coupled Cl2/Ar Plasma Using Neural Network
- 저자
- PARK KANG-BAK
- 발행일
- 2011-07-05
- 학회명
- The 3rd International Conference on Microelectronics and Plasma Technology
- 개최지
- Dalian, China
- 개최국가
- 중국
- 학회 개최일
- 2011-07-04 ~ 2011-07-07