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플라즈마 기상 증착법에 의한 보론카바이드 박막의 RF 변화에 따른 효과

제목
플라즈마 기상 증착법에 의한 보론카바이드 박막의 RF 변화에 따른 효과
저자
BYUN, Dong Jin
학회명
2005년도 한국재료학회 춘계학술발표대회
개최지
무주리조트
학회 개최일
2005-05-26 ~ 2005-05-27

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