ScholarWorks@고려대학교

상세 보기

나노임프린트리소그래피를 통한 70nm급 metal line pattern에 관한 연구

제목
나노임프린트리소그래피를 통한 70nm급 metal line pattern에 관한 연구
저자
Lee, Heon
학회명
2005년도 대한금속재료학회 추계학술대회
개최지
일산 KINTEX
학회 개최일
2005-10-27 ~ 2005-10-28

ScholarWorks@고려대학교

02841 서울특별시 성북구 안암로 145 Tel. 02-3290-2963

COPYRIGHT © 고려대학교 All Rights Reserved.

Certain data included herein are derived from the © Web of Science of Clarivate Analytics. All rights reserved.

You may not copy or re-distribute this material in whole or in part without the prior written consent of Clarivate Analytics.