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사파이어 기판의 플라즈마 전처리가 AlN 버퍼층을 사용한 GaN template에 미치는 영향
사파이어 기판의 플라즈마 전처리가 AlN 버퍼층을 사용한 GaN template에 미치는 영향
- 제목
- 사파이어 기판의 플라즈마 전처리가 AlN 버퍼층을 사용한 GaN template에 미치는 영향
- 제목 (타언어)
- 사파이어 기판의 플라즈마 전처리가 AlN 버퍼층을 사용한 GaN template에 미치는 영향
- 저자
- BYUN, Dong Jin
- 발행일
- 2017-05-18
- 학회명
- 2017년도 한국재료학회 춘계학술대회
- 개최국가
- 대한민국
- 학회 개최일
- 2017-05-17 ~ 2017-05-19