AIN압전체를 이용한 suspended 압전박막공진기의 제조

  • Soo-Won Kim
제목
AIN압전체를 이용한 suspended 압전박막공진기의 제조
저자
Soo-Won Kim
학회명
센서학회 논문집
개최지
센서학회 논문집
학회 개최일
2000-11-17