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AIN압전체를 이용한 suspended 압전박막공진기의 제조
Soo-Won Kim
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HARVARD
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제목
AIN압전체를 이용한 suspended 압전박막공진기의 제조
저자
Soo-Won Kim
학회명
센서학회 논문집
개최지
센서학회 논문집
학회 개최일
2000-11-17
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