헬륨 이온 sputtering에 의해 형성된 cubic boron nitride 박막의 압축응력의 변화

  • Lim, Dae-Soon
제목
헬륨 이온 sputtering에 의해 형성된 cubic boron nitride 박막의 압축응력의 변화
저자
Lim, Dae-Soon
학회명
한국 진공학회