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CMP 가공시 슬러리가 La3Ga5SiO14의 전기적 특성에 미치는 영향
Lim, Dae-Soon
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제목
CMP 가공시 슬러리가 La3Ga5SiO14의 전기적 특성에 미치는 영향
저자
Lim, Dae-Soon
학회명
한국세라믹학회 추계학술대회지
개최지
한국세라믹학회 추계학술대회지
학회 개최일
2000-10-20
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