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Cu(dmamb)2 전구체를 이용한 구리박막 제조 시 캐리어 가스가 박막성장에 미치는 영향

제목
Cu(dmamb)2 전구체를 이용한 구리박막 제조 시 캐리어 가스가 박막성장에 미치는 영향
저자
BYUN, Dong Jin
학회명
2009년도 한국재료학회 추계학술발표대회 및 제 17회 신소재 심포지엄
개최국가
대한민국
학회 개최일
2009-11-05 ~ 2009-11-06

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