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열처리 효과에 의한 ZrO2 박막과 Si 기판 사이의 계면 특성에 관한 연구

  • CHOI, In-Hoon
제목
열처리 효과에 의한 ZrO2 박막과 Si 기판 사이의 계면 특성에 관한 연구
저자
CHOI, In-Hoon
발행일
2005-02-01
학회명
한국진공학회

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