Temperature dependence of AlN buffer layer deposited on Si substrate

Temperature dependence of AlN buffer layer deposited on Si substrate
제목
Temperature dependence of AlN buffer layer deposited on Si substrate
제목 (타언어)
Temperature dependence of AlN buffer layer deposited on Si substrate
저자
BYUN, Dong Jin
발행일
2019-10-31
학회명
2019년도 한국재료학회 추계학술대회
개최국가
대한민국
학회 개최일
2019-10-30 ~ 2019-11-01