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RF 플라즈마를 이용한 SiO2 나노 입자상의 CeO2 박막 증착

  • Kwan Young Lee
제목
RF 플라즈마를 이용한 SiO2 나노 입자상의 CeO2 박막 증착
저자
Kwan Young Lee
학회명
5th Annual Meeting of the Applied Rheology Center
개최국가
대한민국
학회 개최일
2005-02-03 ~ 2005-02-05

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