Electrical characterization of Ge2Sb2Te5 nano-pillars in 130nm diameter size using nanosphere lithography and conductive atomic force microscopy

제목
Electrical characterization of Ge2Sb2Te5 nano-pillars in 130nm diameter size using nanosphere lithography and conductive atomic force microscopy
저자
Lee, Heon
학회명
제 16회 한국 반도체 학술대회
개최국가
대한민국
학회 개최일
2009-02-18 ~ 2009-02-20