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Surface analysis of N2 plasma treated sapphire substrate for AlN buffer layer
Surface analysis of N2 plasma treated sapphire substrate for AlN buffer layer
- 제목
- Surface analysis of N2 plasma treated sapphire substrate for AlN buffer layer
- 제목 (타언어)
- Surface analysis of N2 plasma treated sapphire substrate for AlN buffer layer
- 저자
- BYUN, Dong Jin
- 발행일
- 2017-08-25
- 학회명
- Japan-Korea Materials Science Technology 2017
- 개최지
- Osaka, Kindai University
- 개최국가
- 일본
- 학회 개최일
- 2017-08-24 ~ 2017-08-26