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풀리머 멤브레인을 이용한 정전용량형 기류센서

제목
풀리머 멤브레인을 이용한 정전용량형 기류센서
저자
Ju, Byeongkwon
학회명
2010년도 제 12회 한국 MEMS 학술대회
개최국가
대한민국
학회 개최일
2010-04-01 ~ 2010-04-03

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