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실리콘의 비등방성 식각을 이용한 집적 센서용 미세기계구조의 제작

제목
실리콘의 비등방성 식각을 이용한 집적 센서용 미세기계구조의 제작
저자
Ju, Byeongkwon
학회명
반도체재료 및 부품연구회, CAD 연구회 합동학술발표회 (전자공학회)
학회 개최일
1989-01-10 ~ 1989-01-10

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