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RF 플라즈마를 이용한 TiO2 박막의 제조 및 특성 분석

  • Kwan Young Lee
제목
RF 플라즈마를 이용한 TiO2 박막의 제조 및 특성 분석
저자
Kwan Young Lee
학회명
유변공정연구센타

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