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핫엠보싱 공정을 이용한 50nm급 고분자 스템프 제작에 관한 연구

제목
핫엠보싱 공정을 이용한 50nm급 고분자 스템프 제작에 관한 연구
저자
Lee, Heon
학회명
2008년 한국재료학회 춘계학술발표대회
개최국가
대한민국
학회 개최일
2008-05-22 ~ 2008-05-23

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