희박가스 탐지를 위한 전단농축기 미세구조설계 및 판상형 모듈 구현

Micro-preconcentrator Structure Design and Chip-type Module Implementation for Lean Gas Detection
제목
희박가스 탐지를 위한 전단농축기 미세구조설계 및 판상형 모듈 구현
제목 (타언어)
Micro-preconcentrator Structure Design and Chip-type Module Implementation for Lean Gas Detection
저자
Bong, Ki Wan
발행일
2022-03-25
학회명
2022 KSCBRD Spring-Conference
개최국가
대한민국
학회 개최일
2022-03-24 ~ 2022-03-25