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희생층 식각 영향에 둔감한 안정적인 Cr/Au pad 제작 방법

  • Pak, James Jungho
제목
희생층 식각 영향에 둔감한 안정적인 Cr/Au pad 제작 방법
저자
Pak, James Jungho
학회명
제 7회 한국 MEMS 학술대회
개최지
제주 KAL 호텔
학회 개최일
2005-04-07 ~ 2004-04-09

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